في 22 أكتوبر، أعلنت شركة AMEC لل معدات أشباه الموصلات (شنغهاي) المحدودة المساهمة الصينية أن أول جهاز في العالم من معدات الحفر الغازي عالي الانتقائية Primo Domingo، المطورة ذاتياً، قد تم شحنه إلى أحد العملاء المحليين المهمين في مجال البحث والتطوير وتصنيع الدوائر المتكاملة. تستهدف هذه المعدات عمليات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة مثل ترانزستورات البوابة المحيطة (GAA) وذاكرة الفلاش ثلاثية الأبعاد وذاكرة الوصول العشوائي الديناميكية ثلاثية الأبعاد، وتُستخدم أساساً في حفر المواد عالي الانتقائية.
يعتمد Primo Domingo تصميماً متماثلاً بالكامل لغرفة المعالجة وتحسيناً لتصميم مجال التدفق، حيث يدمج حقن الغاز والتحكم في درجة الحرارة وضبط الضغط في نظام عملية الحفر، وذلك لتحسين انتظام الحفر على سطح الرقاقة وقابلية تكرار العملية. وتُجهَّز المعدات بخزان غاز مدمج يقصّر مسار نقل الغاز ويدعم التحكم السريع والدقيق في الغازات النبضية. وبالنظر إلى ظروف استخدام غازات الحفر عالية النشاط، تُصنع خطوط الأنابيب الداخلية من مواد عالية المقاومة للتآكل وطلاءات خاصة لتلبية متطلبات التشغيل طويل الأمد.
يستخدم نظام التحكم في درجة حرارة الرقاقة تصميماً بقاعدة مزدوجة التبريد ومزدوجة التسخين، مما يتيح ضبطاً دقيقاً ضمن نطاق واسع من درجات الحرارة. كما تُجهَّز المعدات بنظام نقل الرقائق Primo C6V3 من AMEC الذي دخل حيز الإنتاج الكمي، ويمكن تزويدها بغرفة حفر رئيسية وغرفة تلدين مساعدة، وتدعم عمليات الحفر لمختلف المواد وهياكل الأجهزة.
وفقاً لبيانات البحث والتطوير التي أعلنتها AMEC سابقاً، حقق Primo Domingo في التحقق من العمليات المتعلقة بتقنية GAA وذاكرة الوصول العشوائي الديناميكية ثلاثية الأبعاد في المختبر نسبة انتقائية للحفر بين الجرمانيوم والسيليكون تتجاوز 700:1. وتُعد هذه المؤشرات نتائج تحقق مخبري أولية، ولا يمكن اعتبارها أداءً فعلياً مقاساً للمعدات المسلَّمة في خط إنتاج العميل. وقد أفاد التقرير نصف السنوي للشركة لعام 2026 بأن المعدات كانت قد خضعت لعدة عمليات تحقق في غرفة Alpha المخبرية. ويُعد شحن أول جهاز نقطة تسليم جديدة بعد البحث والتطوير والتحقق المخبري للمنتج.
أعلنت AMEC عن منتج Primo Domingo لأول مرة في مارس 2026. حالياً، تغطي معدات الحفر الخاصة بها تطبيقات حفر متعددة للعقد من 65 نانومتراً إلى 3 نانومترات وما دون ذلك من العمليات الأكثر تقدماً، وقد حققت معدات حفر العوازل نسبة عمق إلى عرض تتراوح من 60:1 إلى 90:1، بينما تصل معدات حفر السيليكون إلى 140:1 كحد أقصى. وحتى نهاية يونيو 2026، كان لدى الشركة تراكمياً أكثر من 8800 منصة تفاعل قيد الإنتاج الكمي في أكثر من 220 خط إنتاج داخل الصين وخارجها.