عداد غاز الكتلة الحرارية

يُصنع عداد الغاز هذا بتقنية الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS)، مستخدماً شريحة استشعار تدفق تعتمد على مبدأ تدفق الكتلة الحرارية. وقد أدى ذلك إلى تطوير جيل جديد من عدادات الغاز الإلكترونية الذكية بالكامل. يُتيح هذا المنتج قياس كتلة تدفق الغاز  دون الحاجة إلى تعويض درجة الحرارة والضغط، وهو ما يميز عدادات الغاز التقليدية.