في ظروف تشغيل محددة، يتحول جزء من الطاقة الحركية للمائع إلى اهتزازات، وتكون هناك علاقة تناسب محددة بين تردد الاهتزاز وسرعة المائع أو معدل تدفقه. وتُسمى أجهزة قياس التدفق العاملة وفق هذا المبدأ مقاييس تدفق اهتزاز المائع. وتنقسم هذه الأجهزة حالياً إلى ثلاثة أنواع: مقياس التدفق الدوامي، ومقياس التدفق بالدوامة الاستباقية (Precession Vortex Flowmeter)، ومقياس التدفق النفاث. وتتميز مقاييس تدفق اهتزاز المائع بالخصائص الآتية:
1) يكون الخرج على شكل تردد نبضي يتناسب طردياً مع معدل التدفق الحجمي الفعلي للمائع المقاس، ولا يتأثر بتركيب المائع أو كثافته أو ضغطه أو درجة حرارته؛
2) نطاق القياس واسع، وتبلغ نسبة المدى عادة 10:1 أو أكثر؛
3) مستوى الدقة متوسط إلى مرتفع؛
4) لا يحتوي على أجزاء متحركة، ويتمتع بموثوقية عالية؛
5) هيكله بسيط ومتين، وسهل التركيب، وتكاليف صيانته منخفضة؛
6) واسع الاستخدام، ومناسب للسوائل والغازات والبخار.
