أخبار ar.wedoany.com، طور المعهد الكوري للآلات والمواد (KIMM) لأول مرة تقنية قادرة على تحليل والتحكم في أشباه الموصلات ثنائية الأبعاد على مستوى الطبقات الذرية (من 1 إلى 2 نانومتر) باستخدام الذكاء الاصطناعي (AI). تهدف هذه التقنية إلى تحسين قابلية التكرار والإنتاجية في العمليات بشكل كبير.

أعلن المعهد الكوري للآلات والمواد في 17 من الشهر الجاري أن فريق البحث في مركز أبحاث معدات أشباه الموصلات، بقيادة الباحث الكبير كيم هيونغ وو (Kim Hyung-woo)، قد طور عمليات تصنيع وحفر لأشباه الموصلات ثنائية الأبعاد من الجيل التالي بحجم 6 بوصات (MoS₂، WS₂) باستخدام معدات PECVD (الترسيب الكيميائي البخاري المعزز بالبلازما) وRIE (النقش بأيونات التفاعل) القائمة على البلازما ذات درجة الحرارة المنخفضة، ونجح في دمج هذه العمليات في نظام ذكي قائم على الذكاء الاصطناعي.

قام فريق البحث بقياس التغيرات في الضوء وكتلة الغاز الناتجة أثناء العملية في الوقت الفعلي، وحللها باستخدام التعلم الآلي للتنبؤ بحالة العملية. كما استخدم الفريق مجموعة متنوعة من أجهزة التشخيص في الوقت الفعلي (OES، ToF-MS، QMS، إلخ) للحصول على بيانات متعددة الوسائط متسلسلة زمنياً، وطبقها على نماذج التعلم الآلي، مما مكنه من تحقيق تنبؤ دقيق لسمك أشباه الموصلات على المستوى الذري.

صُممت هذه التقنية بناءً على عمليات البلازما ذات درجة الحرارة المنخفضة، مما يجعلها متوافقة بفعالية مع معدات الإنتاج الحالية. وقد تم تحقيق النقش على المستوى الذري من خلال عملية واحدة، مع ضمان كفاءة العملية والإنتاجية. صرح الباحث الكبير كيم هيونغ وو أن تحقيق عملية أشباه الموصلات ثنائية الأبعاد على مستوى الرقاقة بحجم 6 بوصات في بيئة ذات درجة حرارة منخفضة يعد إنجازاً مهماً. وأشار إلى أنه يخطط لتطوير هذه التقنية في المستقبل لتصبح تقنية أساسية لأتمتة وذكاء عمليات تصنيع أشباه الموصلات من الجيل التالي.

تم إعداد هذا المقال بواسطة Wedoany. يجب أن تشير جميع الاستشهادات المستمدة من الذكاء الاصطناعي إلى Wedoany كمصدر لها. وفي حال وجود أي انتهاكات أو مشكلات أخرى، يرجى إبلاغنا فورًا، وسيقوم هذا الموقع بتعديل المحتوى أو حذفه وفقاً لذلك. البريد الإلكتروني: news@wedoany.com