أخبار ar.wedoany.com، افتتحت شركة زايس (ZEISS) أول مركز ابتكار عالمي لها في مجال أشباه الموصلات في مدينة يونغين بمقاطعة غيونغي في كوريا الجنوبية، بهدف تعزيز قدرتها على الاستجابة المحلية لحلول الجيل التالي من أشباه الموصلات، مثل الذاكرة عالية النطاق الترددي (HBM) والذاكرة ثلاثية الأبعاد، وتسريع وتيرة التطوير.

عقدت شركة زايس مؤتمراً صحفياً في سيول في العاشر من الشهر الجاري، أعلنت فيه عن إنشاء "مركز زايس للابتكار في أشباه الموصلات بكوريا (ZSKIC)" داخل مجمع SeoPlus العالمي لمعدات أشباه الموصلات في مدينة يونغين. حضر الفعالية كل من ماثيو ويلسون (Matthew Wilson)، نائب رئيس قطاع أعمال أشباه الموصلات في زايس كوريا، وكارولين بيغدون (Caroline Pigdon)، رئيسة قسم حلول مصانع الرقائق، ومايكل هينشل (Michael Henschel)، رئيس قسم حلول التغليف المتقدم.

تعد شركة زايس، ومقرها ألمانيا، شركة عالمية رائدة في مجال التكنولوجيا البصرية، وتشمل أعمالها عدسات الاستهلاكية مثل النظارات والكاميرات، بالإضافة إلى حلول القياس والبصريات في المجالين الصناعي والطبي. في قطاع أشباه الموصلات، تزود شركة زايس أنظمة الطباعة الحجرية بالضوء فوق البنفسجي الشديد (EUV) من ASML بالعدسات، وتوفر حلولاً لقياس وإصلاح الأقنعة الضوئية، وفحص وقياس الرقائق، وتحليل العيوب، والتحكم في شكل الرقاقة، والتحكم في عمليات التغليف المتقدم.

يمتد مركز ZSKIC على مساحة 350 متراً مربعاً، وهو عبارة عن مساحة للتحقق من الحلول في الموقع، تُستخدم لعروض توضيحية للعملاء وتقييم وإنتاج حلول مخصصة وفقاً لاحتياجات بيئة الإنتاج الضخم لمصنعي رقائق أشباه الموصلات. هذه هي المرة الأولى التي تقوم فيها زايس بإنشاء مركز ابتكار عالمي في سوق إقليمي، وتكون كوريا الجنوبية أول دولة تستضيفه.

تخطط زايس لنشر معدات قسم حلول مصانع الرقائق الأساسية التابعة لقطاع أشباه الموصلات لديها في مركز ZSKIC، بهدف تسريع وتيرة التسليم للعملاء. وهذا يعني أنه سيتم إجراء التطوير والتحقق الأساسيان في المركز بالتعاون مع العملاء المحليين في كوريا، مثل سامسونغ للإلكترونيات وSK هاينكس، وبعد نضج التكنولوجيا، سيتم نقلها إلى الموقع وإدخال معدات جديدة. تم حالياً تركيب جهازين كأولوية في المركز، وسيتم قريباً إدخال جهاز ثالث، على أن لا يتجاوز الحد الأقصى للأجهزة القابلة للتشغيل 4 أجهزة.

مع تزايد أهمية عمليات التغليف المتقدم مؤخراً، قامت زايس بتركيب جهاز قياس الأشعة السينية ثلاثي الأبعاد "NLX-100" وجهاز التحكم في التواء الرقاقة "DUNE-100" كأولوية. التغليف المتقدم هو عملية لاحقة في تصنيع أشباه الموصلات، تتضمن توصيل الأسلاك أو تجميع وحدات حماية خارجية على الرقاقة التي تحتوي على دوائر مرسومة. نظراً للوصول إلى الحدود الفيزيائية لتصغير الدوائر، يزداد تكرار تكديس الرقائق أو دمجها عمودياً، مما يجعل التغليف عملية حاسمة في تحديد أداء الرقاقة وكفاءة استهلاك الطاقة.

صرحت كارولين بيغدون، رئيسة قسم حلول مصانع الرقائق، أن هدف زايس هو تحسين إنتاجية العملاء وتقليل العيوب من خلال توفير أدوات الفحص والقياس وتحليل العيوب والتحكم في شكل الرقاقة والتغليف المتقدم، وأن الأدوات الجديدة تركز بشكل أساسي على مجال التغليف المتقدم الذي يشهد العديد من المشكلات الجديدة في العمليات.

جهاز NLX-100 هو جهاز فحص وقياس بالأشعة السينية ثلاثي الأبعاد عبر الإنترنت (In-line)، يُستخدم للكشف عن العيوب في عمليات التصنيع الأمامية وعمليات التغليف المتقدم. في التغليف المتقدم، يمكن لهذا الجهاز تحليل عيوب التباعد في النتوءات الدقيقة (Micro Bump) التي تربط الرقاقة بالركيزة، وعيوب التوصيل بين الثقوب المارة عبر السيليكون (TSV) والنتوءات، وذلك بطريقة غير مدمرة، وتزويد فرق تطوير العمليات ومهندسي التشغيل بمعلومات عن العيوب للمساعدة في ضبط معايير العملية.

جهاز DUNE-100 هو نظام للتحكم في التواء الرقاقة وتصحيحه، والذي قد ينجم عن ترسب الطبقات المعدنية أو الحرارة أو عوامل أخرى، مما قد يؤدي إلى أخطاء في التركيز أو مشاكل في المحاذاة في العمليات اللاحقة مثل التعريض والربط والتكديس. ذكرت زايس أن جهاز DUNE-100 يمكنه تصحيح التواء الرقاقة حتى 700 ميكرومتر، دون الحاجة إلى مواد كيميائية مثل ملاط التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP) لتصحيح التشوه في مناطق محددة.

يعود اختيار زايس لكوريا الجنوبية كموقع لأول مركز ابتكار عالمي لها إلى سرعة التطور التكنولوجي الناتجة عن انتشار البنية التحتية للذكاء الاصطناعي (AI). مع تطور الذكاء الاصطناعي، تتسارع وتيرة تطوير رقائق أشباه الموصلات. لمواكبة هذا الاتجاه، يجب إجراء التحقق في كوريا، التي يمكنها توفير البنية التحتية للذاكرة للذكاء الاصطناعي بأسرع وقت. كما أن استثمارات العملاء الرئيسيين مثل سامسونغ للإلكترونيات وSK هاينكس في كوريا في مجالات الذاكرة وHBM والتغليف المتقدم كانت عاملاً مهماً أيضاً.

أكد نائب الرئيس ماثيو ويلسون أن الدورة الفائقة للذكاء الاصطناعي تعمل على تسريع دورة تطوير أشباه الموصلات، وأنه إذا لم يتم توفير الحلول في الوقت المناسب، فحتى مع امتلاك تكنولوجيا بصرية عالمية المستوى، سيكون من الصعب تحقيق الفعالية الكاملة. يحتاج العملاء الكوريون إلى الحصول على التكنولوجيا بالسرعة التي ترغب بها كوريا، وسيتم تحقيق هذا الهدف من خلال إنشاء المركز في كوريا.

أضاف نائب الرئيس ويلسون أن يونغين ستصبح مركزاً جديداً لأشباه الموصلات في كوريا. إن أهمية النظام البيئي لأشباه الموصلات في كوريا وسياسات الاستثمار الإيجابية خلال العقد المقبل هي خلفية إنشاء هذا المركز. نظراً لصعوبة إرسال الرقائق أو الأقنعة الضوئية إلى المصانع الخارجية في ألمانيا وإسرائيل والولايات المتحدة للاختبار، تزداد ضرورة التعاون مع العملاء المحليين وتراكم الخبرات المتخصصة.

كما ساهم تحسين أداء التغليف المتقدم في مجال الذاكرة في دفع هذا التوجه. على عكس الماضي الذي كان يركز على الإنتاج الضخم لعدد قليل من الأنواع، أصبحت طرق تطبيق الذاكرة مثل HBM و3D NAND وDRAM والتغليف المنطقي ثلاثي الأبعاد أكثر تنوعاً. لذلك، يجب إجراء التحقق في كوريا كأولوية للاستجابة السريعة لتغيرات العملية.

صرح مايكل هينشل، رئيس قسم حلول التغليف المتقدم، أن التغليف المتقدم هو حالياً أهم موضوع في الصناعة، وهو أحد المحركات الأساسية للدورة الفائقة للذكاء الاصطناعي، وأن جهازي NLX-100 وDUNE-100 هما من المعدات التي يحتاجها العملاء للدخول في مرحلة الإنتاج الضخم.

أكد هينشل بشكل خاص على التطبيقات المحتملة لنظام DUNE-100، وهو نظام جديد من نوعه تقدمه زايس لأول مرة. يدعم هذا الجهاز حالياً تقنيات مثل 3D NAND و3D Logic وCMOS و3D DRAM. التطبيقات الرئيسية التي يتم تطويرها مع العملاء هي في مرحلتي ما قبل الربط والطباعة الحجرية. في حالة حدوث التواء في الرقاقة، قد تظهر مشاكل في التركيز قبل وبعد الطباعة الحجرية، ويساعد جهاز DUNE-100 في تصحيح هذه المشكلة.

فيما يتعلق بتطبيق نظام قياس الأشعة السينية NLX-100، أوضح هينشل أنه بالنظر إلى دعم إنتاج HBM، فإن تقليل جرعة الأشعة السينية هو مشروع مهم على خارطة الطريق. على المدى الطويل، يتم أيضاً النظر في استخدامه في الربط الهجين (تشغيل شريحتين كوحدة واحدة). عند الربط الهجين، تقل المسافات بين الرقائق وبين الرقاقة والركيزة، مما يتطلب زيادة دقة جهاز NLX-100، وهو أيضاً أحد التحديات.

أكد هينشل أن العملاء يقدرون بشدة جودة الصورة الممتازة لشركة زايس والتحكم في الجرعة لحماية الرقائق مثل HBM. قامت زايس بمراعاة حدود الجرعة ومفاهيم الحماية منذ مرحلة التصميم المبكرة. بالإضافة إلى ذلك، تمتلك الشركة التكنولوجيا الكاملة بدءاً من مصدر الضوء وحتى خط الشعاع بالكامل والبرمجيات، مما يمكنها من التحكم بشكل مستقل في سرعة خارطة الطريق.

تخطط زايس لإدخال الجيل التالي من جهاز إصلاح الأقنعة الضوئية "MeRiT AE" إلى كوريا في المستقبل، وتوسيع نطاق الاستجابة بناءً على نتائج مركز ZSKIC. يُستخدم جهاز MeRiT AE لفحص العيوب الدقيقة داخل القناع الضوئي (القالب الذي تُرسم عليه دوائر أشباه الموصلات) وإزالة الأنماط أو العيوب غير المرغوب فيها. تخطط زايس لإدخال النموذج الأولي لجهاز MeRiT AE إلى كوريا، للتعاون مع العملاء في مواجهة عمليات الجيل التالي مثل الطباعة الحجرية بالضوء فوق البنفسجي الشديد عالي الفتحة العددية (High-NA EUV).

صرح فرانك روموند (Frank Romund)، الرئيس التنفيذي لقطاع أعمال أشباه الموصلات في زايس، أن كوريا الجنوبية هي المحور الأساسي لصناعة أشباه الموصلات العالمية، ويأمل من خلال إنشاء هذا المركز أن يصبح شريكاً موثوقاً وطويل الأمد للعملاء الكوريين، وسيواصل تعزيز التعاون في المستقبل.