في 30 يوليو، أكملت شركة جيانغسو شيانداي للإلكترونيات الدقيقة أول جهاز إنتاج ضوئي عالي الدقة للرش المغناطيسي مقاس 12 بوصة من طراز Star600-EOSS، والذي طوّرته ذاتياً، أعمال التجميع والتشغيل المتكامل في قاعدة الإنتاج بمنطقة شيوتشو للتكنولوجيا الفائقة بمقاطعة جيانغسو، واجتاز بنجاح التحقق الآلي وتحقق العمليات، وسلّمته رسمياً إلى إحدى شركات تصنيع الرقاقات الرائدة محلياً. يمثل شحن أول جهاز بنجاح علامة فارقة في تحقيق الشركة لاختراق مهم في مجال معدات الطلاء البصري عالي الدقة على مستوى الرقاقات، من البحث والتطوير والتصنيع إلى التسليم للإنتاج التجاري، مما يعزز بشكل أكبر مسيرة توطين هذه المعدات محلياً.

توطين تقنية الطلاء البصري المتقدمة عالمياً على مستوى الرقاقات

جهاز Star600-EOSS هو جهاز رش مغناطيسي بصري عالي الدقة على مستوى الرقاقات، طُوّر بالاعتماد على القدرات التقنية الحالية للمجموعة. ومن خلال براءات الاختراع الأساسية للمجموعة وقاعدة بيانات العمليات ونظام التصميم المتكامل للجهاز، نجحت شركة جيانغسو شيانداي في تحقيق التوطين الهندسي لتقنية متقدمة عالمياً، وأكملت تحسين تكييف العمليات بالاعتماد على قدراتها البحثية الذاتية، مما وفر دعماً جوهرياً بمعدات متطورة لتصنيع الأغشية البصرية عالية الدقة.

صُمم جهاز Star600-EOSS خصيصاً للطلاء البصري على مستوى الرقاقات مقاس 12 بوصة، ويتميز بعدة مزايا تركز على متطلبات عمليات ترسيب الأغشية الأساسية. يعتمد الجهاز تصميماً هيكلياً للرش التصاعدي بكاثودات دوارة مزدوجة (Sputter-up)، مما يقلل من تولد الجسيمات على المستوى الفيزيائي ويعزز استقرار العملية. يدعم الجهاز معالجة رقاقات كاملة مقاس 12 بوصة، مع تجانس سماكة الفيلم داخل الرقاقة ≤ ±0.3%، واستقرار العملية بين الرقاقات ضمن 0.3%، مما يجعله مثالياً للإنتاج الضخم للأغشية البصرية الدقيقة مثل مرشحات الأشعة تحت الحمراء القاطعة، والأغشية المضادة للانعكاس (AR)، والأغشية العازلة للدليل الموجي الضوئي، ومرشحات النطاق الضيق التي تتجاوز 100 طبقة، مع أداء منتج ممتاز، وعدم وجود انزياح في الطول الموجي، واستقرار في الإنتاجية. بالإضافة إلى ذلك، يدمج الجهاز نظام مراقبة خطية مطيافية واسعة النطاق في الموقع، يقوم بتصحيح سماكة الفيلم المترسب بشكل مغلق في الوقت الفعلي. على صعيد الأتمتة، يُزوَّد الجهاز بوحدة أمامية EFEM كمعيار قياسي، متوافقة مع حاويات الرقاقات FOUP مقاس 12 بوصة الشائعة في الصناعة، ويحقق النقل الآلي الكامل من الحاوية إلى الحاوية عبر ذراع آلية بالشفط الفراغي، ويدعم الاتصال البيني مع أنظمة MES في المصنع عبر بروتوكول SECS/GEM، مما يلبي متطلبات الإنتاج المتواصل دون مراقبة على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع (7×24). يعتمد الجهاز تصميماً معمارياً معيارياً للعمليات، ومجهزاً بوحدات كاثود مغناطيسي مستقلة متعددة المحطات، مما يتيح التبديل الحر بين أنواع متعددة من الأهداف (Targets)، مع خيار إضافة مصدر أيوني، ومعالجة مسبقة بالبلازما في الموقع، ومنصة تحكم حراري بدرجات حرارة منخفضة، لتلبية متطلبات مرونة إعداد العينات البحثية واستقرار الإنتاج الضخم في آن واحد.

على عكس الشركات المصنعة للمعدات المنفردة، تستفيد شركة جيانغسو شيانداي من مزايا سلسلة القيمة المتكاملة للمجموعة الأم "مجموعة شيانداي للتكنولوجيا"، لتشكيل قدرة تنافسية جوهرية رأسية متكاملة تجمع بين "مواد الأهداف عالية النقاء – معدات الطلاء المتكاملة – تطوير عمليات الأغشية الرقيقة". في مجال تطبيقات الأغشية البصرية، تستفيد الشركة من موارد المجموعة من الأهداف البصرية عالية النقاء مثل الإنديوم والتنتالوم والتيتانيوم والسيليكون، ويمكنها بالتزامن إتمام مطابقة الأهداف وتطوير وصفات العمليات وفقاً لاحتياجات منتجات العملاء، لتقديم حلول طلاء مخصصة متكاملة. يُعد شحن هذا الجهاز بنجاح إنجازاً مهماً في مواصلة تطوير المعدات الأساسية ذاتياً وتطبيقاتها الصناعية. وفي المستقبل، ستواصل الشركة التركيز على الابتكار في تقنيات ترسيب الأغشية الرقيقة المتقدمة، والمساهمة بشكل أكبر في التنمية عالية الجودة للبصريات الدقيقة والبصريات على مستوى الرقاقات وصناعة أشباه الموصلات.