إسبانيا تطلق منشأة لتصنيع الرقائق الكمومية بتقنية النانو باستثمار 6 ملايين يورو

أخبار ar.wedoany.com، أطلقت المجلس الأعلى للبحث العلمي الإسباني (CSIC) منطقة التصنيع الكمومي النانوي في معهد البارسيليونا للإلكترونيات الدقيقة (IMB-CNM)، المخصصة لتصنيع وتوصيف الأجهزة والدوائر الكمومية على مقياس النانو والأجهزة الإلكترونية الدقيقة المتقدمة. وبلغ إجمالي الاستثمار في تحديث المنشأة أكثر من 6 ملايين يورو، بتمويل من برنامج PERTE Chip الإسباني والبرنامج التكميلي للاتصالات الكمومية، حيث يحظى تمويل PERTE Chip بدعم من برنامج NextGenerationEU التابع للاتحاد الأوروبي.

تقع منطقة التصنيع الكمومي النانوي داخل الغرفة النظيفة للتصنيع الميكروي والنانوي في IMB-CNM، وتضم معدات جديدة للطباعة الحجرية النانوية والقياس على مقياس النانو. تشمل المعدات الأساسية نظام الطباعة الحجرية بالحزمة الإلكترونية EBPG 5150Plus، بالإضافة إلى المجهر الإلكتروني الماسح SEM/EBL ومجهر القوى الذرية AFM، مما يتيح تنفيذ عمليات النقش والفحص والتوصيف على مقياس النانو في مختلف مراحل تصنيع الأجهزة. ويصنف CSIC نظام EBPG 5150Plus باعتباره أكثر أنظمة الطباعة الحجرية بالحزمة الإلكترونية تقدمًا في إسبانيا حاليًا.

تبلغ مساحة الغرفة النظيفة الحالية للتصنيع الميكروي والنانوي في IMB-CNM حوالي 1500 متر مربع، وتضم نحو 190 جهازًا للعمليات التصنيعية، بطاقة معالجة سنوية تبلغ حوالي 2000 رقاقة، وتغطي مستويات النظافة من ISO 5 إلى ISO 7. وتستهدف العمليات الحالية بشكل أساسي رقائق السيليكون بقطر 100 مليمتر و150 مليمتر، مع إمكانية معالجة ركائز من مواد وأحجام مختلفة وفقًا لاحتياجات البحث والتطوير. وقد أُدرجت منطقة التصنيع الكمومي النانوي الجديدة ضمن المنظومة التقنية المتكاملة لهذه الغرفة النظيفة.

نتج هذا التحديث عن ترقية منطقة الطباعة الحجرية النانوية السابقة. وعلى مدار العام الماضي، واصل IMB-CNM تحديث معدات الغرفة النظيفة وقدراتها التصنيعية. وستُتاح المنطقة الجديدة للمؤسسات البحثية والشركات التقنية في إسبانيا وأوروبا، لاستخدامها في تطوير الأجهزة والدوائر على مقياس النانو وتصنيع النماذج الأولية المتقدمة.

وتُدرج هذه المنشأة أيضًا ضمن خطة تحديث الغرفة النظيفة لدى IMB-CNM في إطار برنامج PERTE Chip. وأفاد CSIC بأنه سيُواصل في الأشهر المقبلة توسيع الغرفة النظيفة من خلال برنامج "Singulars Institucionals" الكتالوني، بتمويل مشترك من إدارة البحث والجامعات في كتالونيا والصندوق الأوروبي للتنمية الإقليمية للفترة 2021–2027.

كما انضم IMB-CNM هذا العام إلى خط التجارب الأوروبي SPINS لأجهزة الكموميات المصنوعة من أشباه الموصلات. ويقود هذا الخط معهد imec، بمشاركة 25 مؤسسة أوروبية للبحث والتكنولوجيا ومؤسسات صناعية وجامعات، وبميزانية إجمالية تبلغ 50 مليون يورو، ويستهدف تطوير الأنظمة الكمومية النانوية الصناعية القائمة على أشباه الموصلات. وبصفته الجهة الإسبانية المشاركة، سيربط IMB-CNM قدراته الحالية في التصنيع الميكروي والنانوي بمنظومة خط التجارب الأوروبي للأجهزة الكمومية.

ويضم منظومة البحث العلمي الكمومي لدى CSIC حاليًا مركز QuARC-CSIC الجديد لعلوم وتكنولوجيا الكموميات، بالإضافة إلى منصة متعددة التخصصات لتكنولوجيا الكموميات تتألف من 21 معهدًا و36 فريقًا بحثيًا. وستكون منطقة التصنيع الكمومي النانوي الجديدة إحدى البنى التحتية لتصنيع الأجهزة الكمومية والمعالجة النانوية ضمن هذه المنظومة.