تحقيق التطبيق الإنتاجي لآلة الترقيق الأوتوماتيكية بالكامل لرقائق كربيد السيليكون بقياس 8 بوصات من إنتاج مجموعة الصين للإلكترونيات والتكنولوجيا

أخبار ar.wedoany.com، قامت شركة بكين تشونغديانكه، التابعة لمجموعة معدات الإلكترونيات الصينية (المعروفة اختصاراً بـ"معدات الإلكترونيات")، وهي بدورها تابعة لمجموعة الصين للإلكترونيات والتكنولوجيا (CETC)، بتطوير أول وحدة من المعدات الرئيسية لآلة ترقيق أوتوماتيكية بالكامل لرقائق أجهزة كربيد السيليكون (SiC) بشكل مستقل، وتم تسليمها مؤخراً بنجاح إلى إحدى شركات الرقائق الرائدة محلياً لتحقيق التطبيق الإنتاجي. وبذلك تكون الشركة قد شكلت حلاً متكاملاً محلياً للترقيق يغطي العملية الكاملة من سبائك كربيد السيليكون إلى الرقائق إلى رقائق الأجهزة، وهو حل رائد في القطاع.

تمر صناعة أشباه الموصلات المركبة حالياً بنافذة زمنية حاسمة للتوسع على نطاق واسع. ومع التسارع في انتشار منصات الجهد العالي 800 فولت في مركبات الطاقة الجديدة، والتحديث المتواصل لمعايير الخلايا الكهروضوئية وتخزين الطاقة، والتحرر المركّز للطلب على إمدادات الطاقة في تطبيقات الذكاء الاصطناعي، تتراكم هذه المكاسب التنموية الثلاثة لتخلق طلباً ملحّاً في السوق على أجهزة قدرة كربيد السيليكون عالية الأداء التي تلبي متطلبات تطبيقات السيارات والحوسبة.

في تصنيع أجهزة قدرة كربيد السيليكون، تُعدّ عملية ترقيق الوجه الخلفي للرقاقة إحدى العمليات المهمة التي تحدد المقاومة الحرارية للجهاز وخسائر التوصيل ونسبة المنتجات الجيدة في الإنتاج الكمي. ونظراً لصلابة مادة كربيد السيليكون وصعوبة تجليخها، يسهل حدوث تشظي الحواف وشقوق دقيقة أو حتى كسر الرقاقة أثناء معالجة الوجه الخلفي، مما يفرض متطلبات صارمة على صلابة معدات الترقيق، وقمع اهتزازات المغزل، والتحكم في شكل منصة الحمل، والتحكم المغلق في العمليات.

ركزت شركة بكين تشونغديانكه على نقاط الضعف في القطاع، وعملت على تطوير آلة ترقيق أوتوماتيكية بالكامل لرقائق أجهزة كربيد السيليكون. ووفقاً للشركة، تعتمد المعدات هيكلاً كاملاً بثلاثة محاور وأربع محطات عمل، وتدمج وحدات النقل والتنظيف الآلية، مما يحقق عملية تصنيع أوتوماتيكية بالكامل بدخول وخروج جافين، ويقلص بفعالية وقت تنقل العمليات. ومن خلال مطابقة مغزل هوائي عالي الصلابة ومنخفض الاهتزاز وعالي القدرة مع عجلات التجليخ ومعاملات العملية، يتحقق التوازن بين كفاءة المعالجة وتكلفة المواد الاستهلاكية. وأظهرت الاختبارات الإنتاجية الكمية أن رقائق كربيد السيليكون بقياس 8 بوصات يمكن تجليخها بشكل مستقر إلى حد أدنى يبلغ 120 ميكرومتر، بمعدل إنتاج لا يقل عن 15 رقاقة في الساعة، مع التحكم المستقر في انحراف السماكة داخل الرقاقة بعد التجليخ في حدود 3 ميكرومتر، مما يلبي بشكل شامل متطلبات الإنتاجية والاتساق للإنتاج الكمي الواسع النطاق.

في الوقت نفسه، تُجهَّز المعدات بمغزل هوائي دقيق عالي الصلابة مطوَّر ذاتياً، يحقق دقة حركة دورانية دون الميكرومتر، ويتيح نافذة معالجة واسعة لتلبية احتياجات مواد الترقيق المتنوعة؛ كما تُجهَّز بنظام قياس حمل عالي الدقة لمراقبة العملية في الوقت الفعلي والإنذار المبكر بمخاطر كسر الرقاقة. كما يدعم نظاما البرمجيات والعتاد في المعدات وظائف التصحيح والمعايرة الأوتوماتيكية لعجلة التجليخ.

ووفقاً للمعلومات المتاحة، حققت هذه المعدات اختراقاً كبيراً للمعدات المحلية في مرحلة عملية الترقيق الخلفي لرقائق كربيد السيليكون بقياس 8 بوصات، وعالجت نقطة ضعف في معدات تصنيع أشباه الموصلات المركبة في الصين، ووفّرت ضماناً متيناً للإنتاج الكمي لأجهزة قدرة كربيد السيليكون محلياً.