شركة شنغهاي للإلكترونيات الدقيقة الصينية تعرض نموذجين لماكينة تعريض ضوئي جافة للمراحل الأمامية

أخبار ar.wedoany.com، في 6 نوفمبر، عرضت شركة شنغهاي للإلكترونيات الدقيقة للمعدات (المجموعة) المحدودة المساهمة نموذجين لماكينة التعريض الضوئي الجافة للمراحل الأمامية من طراز SSC800 وSSB800، وهما من تطويرها الذاتي، في الجناح الصيني بالدورة التاسعة لمعرض الصين الدولي للاستيراد. وتعتمد المعدتان على تقنيتي KrF وI-line على التوالي، وتستهدفان عمليات تصنيع أشباه الموصلات عند 110 نانومتر فأكثر و280 نانومتر فأكثر، وتُظهران المنصة التقنية والتوزيع الهيكلي للأنظمة الأساسية لمعدات التعريض الضوئي المحلية للمراحل الأمامية.

تعتمد سلسلة SSB800 تقنية التعريض الضوئي I-line، وتستهدف عمليات التصنيع الناضجة عند 280 نانومتر فأكثر، وتُستخدم أساساً في تصنيع أشباه الموصلات القدرة والدارات المتكاملة التناظرية والأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة وغيرها من المنتجات. أما سلسلة SSC800 فتعتمد تقنية التعريض الضوئي KrF، وتستهدف عمليات التصنيع عند 110 نانومتر فأكثر، وتركز على تحسين دقة التعريض والتحكم في التشوه وأداء التراكب، وتلائم مراحل تصنيع أشباه الموصلات التي تتطلب دقة عالية في أبعاد الأنماط ودقة المعالجة.

يعتمد النموذجان المعروضان على هيكل مقطعي شفاف يُظهر مسار الضوء البصري الداخلي وتوزيع الأنظمة الميكانيكية والكهربائية في ماكينة التعريض الضوئي. وتدمج منصة المعدات المعنية عدسة إسقاط عالية الدقة ونظام إضاءة، ومنصة مزدوجة عالية السرعة للقطع ومنصة قناع، ونظام نقل مواد آلي، ونظام استشعار عالي الدقة للمحاذاة والتسوية، وتستخدم البنية المعيارية لماكينة التعريض الضوئي الجافة للمراحل الأمامية، وتلائم مساري تقنية I-line وKrF على التوالي.

أوضحت شركة شنغهاي للإلكترونيات الدقيقة أن معدات التعريض الضوئي الجافة للمراحل الأمامية لديها قد شملت التطوير الذاتي في الأنظمة الأساسية للبصريات الإسقاطية والتحكم في الحركة ومنصة القطع والمحاذاة والتسوية. وأفصحت الشركة أن أداء التصوير لمعدات التعريض الضوئي الجافة المحلية للمراحل الأمامية بات قريباً من مستوى المنتجات المتقدمة المماثلة دولياً، مع تحسن مستمر في دقة التراكب وكفاءة الإنتاج.

وفيما يتعلق بالتطبيق في خطوط الإنتاج، ذكرت الشركة أن عدة وحدات من معدات التعريض الضوئي الجافة للمراحل الأمامية تعمل بثبات في خطوط الإنتاج الكمي لدى شركات تصنيع الدارات المنطقية وشرائح الذاكرة المحلية، وقد دعمت تراكمياً تصنيع أكثر من 10 ملايين رقاقة، مع معدل تشغيل فعلي للمعدات يتجاوز 92%.

وفقاً للمعلومات التي أفصحت عنها الشركة، تجاوزت نسبة التوطين في المكونات الرئيسية للمعدات المعنية 90%، وقد اكتمل تحديد مواصفات المنتج ودخل مرحلة الإنتاج الكمي الواسع. وذكرت الشركة أن المعدات المباعة من سلسلتي SSC800 وSSB800 تستند جميعها إلى منصة مزدوجة للقطع مطورة ذاتياً، ومجهزة بعدسة إسقاط محلية ذات فتحة عددية كبيرة، وتضاهي مؤشرات التعريض والتصوير الرئيسية المنتجات المماثلة دولياً.