أخبار ar.wedoany.com، بدأت شركة إنتل فاوندري (Intel Foundry) في استخدام تقنية الطباعة الضوئية بالضوء فوق البنفسجي الشديد عالي الفتحة العددية (High NA EUV) من شركة ASML في الإنتاج التجاري لكميات من معالجات Panther Lake، وهي منتجات سلسلة إنتل كور ألترا 3 (Intel Core Ultra 3). يُعد هذا أول استخدام تجاري لتقنية High NA EUV في إنتاج رقائق المنطق عالية الإنتاجية. تم تطبيق هذه التقنية على طبقات محددة من عملية التصنيع إنتل 18A (Intel 18A) باستخدام منصة EXE High NA EUV من ASML. وأعلنت إنتل أن هذه الطبقات حصلت على اعتماد مزدوج على كل من منصتي High NA EUV وNXE EUV التقليدية، وأن المنتجات قد تم تسليمها للعملاء، مع تحقيق معدلات إنتاجية مماثلة لتلك التي تم تحقيقها باستخدام منصة NXE.
يمثل هذا أول انتقال لتقنية الطباعة الضوئية High NA EUV من مرحلة البحث والتطوير والإنتاج التجريبي إلى بيئة الإنتاج الفعلية. وفقًا لتصريحات إنتل وASML، يقتصر التطبيق الأولي على طبقات محددة من عملية 18A، مما يساعد الطرفين على جمع بيانات فعلية حول وقت تشغيل النظام، والتحكم في العملية، وتنفيذ الإنتاج، مع الحفاظ على مرونة التصنيع الشاملة. من خلال اعتماد كلتا المنصتين NXE وEXE على نفس الطبقة في آن واحد، تستطيع إنتل زيادة الإنتاجية مع إبقاء الخيارات مفتوحة لاختيار التقنية المناسبة للعقد المستقبلية.
قامت إنتل في عام 2024 بتركيب أول جهاز تجاري لتقنية High NA EUV في مركزها للبحث والتطوير في هيلزبورو بولاية أوريغون، وأصبحت لاحقًا أول عميل يتسلم الجيل الثاني من منصة TWINSCAN EXE:5200B من ASML. مقارنة بالجيل الأول EXE:5000، يتميز جهاز EXE:5200B بتحسينات في الإنتاجية، ودقة محاذاة الطبقات، وأداء مصدر الضوء. تصف ASML تقنية High NA EUV بأنها الاتجاه التكنولوجي الرئيسي القادم في مجال الطباعة الضوئية لأشباه الموصلات، ومن المتوقع أن تدعم التقنيات الرئيسية المستقبلية المطلوبة لرسم أنماط دقيقة للغاية في معالجات الذكاء الاصطناعي وغيرها من الرقائق المتقدمة.
حاليًا، تستخدم إنتل فاوندري أجهزة High NA EUV من ASML في التصنيع عالي الإنتاجية لمعالجات Panther Lake المختارة، وذلك على طبقات محددة من عملية إنتل 18A. أبلغت إنتل أن معدلات الإنتاجية التي تحققها مماثلة لتلك التي يتم تحقيقها باستخدام أدوات NXE EUV التقليدية، وأن طبقات عملية 18A حصلت على اعتماد مزدوج لكل من منصتي High NA EXE وNXE. أكدت إنتل أن المنتجات المصنعة باستخدام High NA EUV يتم شحنها حاليًا للعملاء، وأن هذا النشر يستخدم منصة EXE High NA EUV من ASML. سبق لإنتل أن قامت بتركيب أول جهاز تجاري من نوع EXE:5000 في الصناعة، ثم استضافت لاحقًا أول نظام إنتاجي من طراز EXE:5200B. يتميز جهاز EXE:5200B بتحسينات في الإنتاجية، ودقة محاذاة الطبقات، وأداء مصدر الضوء. وأشارت إنتل وASML إلى أنهما ستواصلان تقييم إمكانية استخدام High NA EUV على نطاق أوسع في عقد التصنيع المستقبلية.
صرح ناجا شاندراسيخاران، نائب الرئيس التنفيذي والمدير العام لشركة إنتل فاوندري، أنه من خلال اعتماد خيار عملية High NA EUV لطبقات محددة من منتجات إنتل 18A، يمكن لمجموعة الأدوات الحالية للشركة توفير إنتاجية أعلى للعملاء، مع تطوير خيارات متطورة في الأداء والكثافة ومرونة التصنيع للعقد القادمة.
يعني هذا الإعلان أن تقنية High NA EUV قد انتقلت من مرحلة التطوير إلى مرحلة التصنيع التجاري لأشباه الموصلات. على الرغم من أن إنتل تطبق هذه التقنية حاليًا على طبقات محددة فقط وليس على الشريحة بأكملها، إلا أن الحصول على اعتماد الإنتاج يوفر تحققًا مهمًا لجدوى استخدام High NA EUV في التصنيع، كما يتراكم بيانات تشغيلية فعلية للنشر على نطاق أوسع في العقد الأكثر تقدمًا في المستقبل. يعزز هذا التقدم أيضًا مكانة إنتل فاوندري كشريك رائد في التصنيع باستخدام تقنية الطباعة الضوئية من الجيل التالي. على عكس إنتل، لا تزال شركات التصنيع الرئيسية الأخرى مثل TSMC وSamsung تقيم مدى ملاءمة High NA EUV لعقدها المستقبلية. سيعتمد التبني الأوسع لهذه التقنية في جميع أنحاء الصناعة على اقتصاديات تصنيع المعدات، وزيادة الإنتاجية بشكل أكبر، واتجاهات الطلب من العملاء على رقائق الذكاء الاصطناعي والحوسبة عالية الأداء في المستقبل.
