أخبار ar.wedoany.com، في 19 يوليو، شرعت شركة بينهوا في إنتاج غاز فلوريد الهيدروجين فائق النقاء بدرجة إلكترونية في إطار مشروع بي كون، وأطلقت منتجًا جديدًا. حققت الشركة اختراقات تقنية في أربع حلقات رئيسية: العملية، والهندسة، والفحص، والتعبئة، مما يشكل حلقة تحكم مغلقة من التحضير إلى التعبئة. يصل نقاء منتج فلوريد الهيدروجين فائق النقاء المستخدم في صناعة أشباه الموصلات إلى درجة 6N (99.9999%)، وهو بمستوى عالمي رائد.
يُعرف فلوريد الهيدروجين فائق النقاء بأنه "دم" صناعة أشباه الموصلات، وهو مادة لا غنى عنها في عمليات التنظيف والحفر وصيانة الحجرات، حيث تحدد درجة نقائه بشكل مباشر معدل إنتاجية رقائق السيليكون. يُعد فلوريد الهيدروجين فائق النقاء بدرجة 6N ضروريًا لعمليات التصنيع المتقدمة بحجم 28 نانومتر وما دونه، وقد اعتمدت الصين لفترة طويلة على الواردات، حيث تحتكر الشركات الأجنبية حوالي 80% من حصة السوق العالمية لفلوريد الهيدروجين بدرجة 6N.
يتطلب فلوريد الهيدروجين بدرجة أشباه الموصلات نقاءً يزيد عن 99.999% (5N)، والانتقال من درجة 5N إلى 6N لا يعني مجرد زيادة في مرحلة تنقية واحدة، بل يستلزم نظام تنقية جديدًا بالكامل. وفقًا لما ذكره ليو تينغ، المدير العام لقسم المواد الكيميائية المتخصصة في شركة بينهوا، فإن مفتاح تحقيق نقاء 6N يكمن في إزالة الشوائب القابلة للامتزاج مثل كميات ضئيلة من الماء وثاني أكسيد الكربون والمركبات العضوية المحتوية على الأكسجين من فلوريد الهيدروجين. صممت الشركة نظام تقطير متعدد المراحل في قسم التقطير، ومن خلال تحسين المكونات الداخلية للأبراج ونوافذ التشغيل، تمكنت من إزالة شوائب الكربون والأكسجين بعمق تحت تدرجات ضغط محددة، مما يتحكم في هذه الشوائب الرئيسية من المصدر. في الوقت نفسه، ولمواجهة مشكلة تأثر تحليل ثاني أكسيد الكربون بالتداخل البيئي، طورت الشركة ذاتيًا نظام أخذ عينات محكم ودقيق وخطة تحليل عالية الحساسية، مما يقلل من التداخل البيئي الخلفي أثناء عملية أخذ العينات إلى أدنى حد، ويضمن أن بيانات التحليل تعكس جودة المنتج بدقة، ويحافظ على استقرار وموثوقية مؤشر 6N.
يمثل الاختراق في درجة 6N جهدًا منهجيًا في أربعة جوانب: العملية، والهندسة، والفحص، والتعبئة. على الصعيد الهندسي، تغلبت الشركة على تقنيات التحكم في ترشيح الشوائب من المواد المختارة وتقنيات دوران التدفق، مما يضمن عدم تلوث عملية التحضير. على صعيد التعبئة، تم اختراق تقنيات حماية المعالجة المسبقة للأسطوانات وإزالة الشوائب بالاستبدال، مما يشكل خط الدفاع الأخير قبل خروج المنتج من المصنع. تشكل هذه التقنيات الأربع حلقة مغلقة، مما يجعل جودة المنتج مستقرة عند مستوى 6N، وتصل إلى المستوى العالمي الرائد.
حاليًا، يبلغ سعر السوق لفلوريد الهيدروجين فائق النقاء بدرجة 6N أكثر من 2 مليون يوان صيني للطن. أكملت شركة بينهوا بناء وتشغيل خط تعبئة أسطوانات فلوريد الهيدروجين فائق النقاء بطاقة إنتاجية سنوية تبلغ 50 طنًا، وحصلت على رخصة تعبئة أسطوانات الغاز الصادرة عن معهد الفحص الفني الخاص بمقاطعة شاندونغ، وتمتلك جميع التصاريح اللازمة للإنتاج والتعبئة والبيع، وبدأت بالفعل في تقديم المنتج للعملاء الرئيسيين داخل الصين وخارجها.
